二手 ORION 90T #9176341 待售

ORION 90T是一種用於薄膜微電子器件制造的通用、可靠的光刻設備.該系統專為高通量光刻工藝而設計。90T可將處理時間減少50%,從而確保直通率和過程可重復性。此單元結合了改進的硬件、高級軟件和高級自動化技術,以提供更高的效率。ORION 90T機器由四個主要組件組成-操作控制臺、光源、光學對準器和索引器。操作控制臺具有直觀的圖形用戶界面（GUI）,可簡化工具的設置和控制。光源是一種激光二極管，提供精確的紫外線輻照度來暴露光刻膠層。光學對準器配有一整套光掩模，作為模板，以確保圖樣在基板上的準確定位。該索引器是一種微運動索引器，精確定位光源和光學對準器之間的基板。90T資產是一種全自動光刻模型，具有先進的控制和通信軟件，旨在減少處理時間和提高吞吐量。為了保持過程的可重復性和準確性，它能夠使用光學對準器的反饋來計算每個圖案化層的精確曝光時間。此外,它的軟件還可用於執行各種過程控制任務,如端點檢測和可重復性分析。ORION 90T設備是一種功能強大、用途廣泛的微電子器件制造解決方案.它以最短的設置時間來保證直通率、可重復性和高吞吐量。其可靠的操作也確保了最小誤差和最大精度。綜合的一組功能和先進的控制允許簡單、安全和可重現的設備處理。