二手 PARKER MSX-102C #9247058 待售

PARKER MSX-102C是將高分辨率成像與高精度、可重復的工藝相結合的第三代光刻設備。該系統采用計算機控制、氣體驅動、自動曝光單元，其中包括三個主要組件----光學單元、熱控制單元和計算機化控制。光學單元由準分子激光光源、光束成形光學器件和包括寬帶光譜成像過程和二元成像過程的雙成像機組成。光學單元支持光學和熱控制功能,能夠對高分辨率圖樣進行精確和可重復的成像。光源提供了很寬的波長範圍，以匹配不同薄膜厚度的光刻膠工藝。自動定心功能有助於在整個模式中提供均勻的輻照度,從而在一次曝光中實現高分辨率模式的一致成像,從而進一步加強了光照過程。熱控制單元集成到光學單元中,並確保在制圖過程中保持溫度控制。熱控制單元在單元內保持精確溫度，以保護薄膜，從而增加過程穩定性，並產生精確的圖樣。控制器還包含一個局部氮氣冷氣室，以確保在抗蝕劑制樣過程中的溫度穩定性。該工具的計算機化控制用於管理和控制成像過程的每個步驟。計算機提供了一系列用戶友好的選項，用於編程和控制整個光刻過程，包括數據輸入、曝光周期、數值監控和對齊控制。它還具有關於制圖精度和工藝魯棒性的實時反饋，為開發和控制先進的光刻膠制圖工藝提供了完整和自動化的資產。MSX-102C光刻膠模型是制造商尋求提高產量、最大吞吐量和提高工藝可靠性的理想解決方案。設備的高分辨率成像能力使其非常適合先進的微加工工藝，並具有廣泛的可編程功能，以確保完整的工藝控制。所有這些結合在一起，使PARKER MSX-102C光刻系統成為制造商尋求最大限度地提高其工藝的準確性和可重復性的寶貴工具。