二手 PHILIPS / FEI Magellan 400L #293597808 待售
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ID: 293597808
優質的: 2012
Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)
EDWARDS nXDS10i Vacuum pump
THERMO FISHER SCIENTIFIC NORAN System 7 EDS System
KEITHLEY 6485 Eletronic measuring instrument
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT ACC Box
DELL PC For EDS
APCO SIP (2) Ion pump power supply
JUN-AIR 1445100 Air compressor
Electrical unit
HRS-012-A-20 Chiller
PBF Power supply
Vibration isolation table
Pump cover
(10) ACC Parts
Crane ACC
Work desk
5-Axis high precision stage, 4"
In-lens / Out lens detector
VCD Detector
NORAN EDS System (UltraDry SDD Detector)
Beam deceleration: 50 V - 30 kV
ELSTAR Electron gun: 0.8 nm at 15 kV / 0.9 nm at 1 kV
2012 vintage.
PHILIPS/FEI麥哲倫400L是專為微電子器件的高分辨率圖樣設計的光阻設備。它是一個先進、用戶友好的系統，能夠在各種基板上產生高保真模式。該裝置采用4K超高分辨率相機，能夠精確地在晶圓和掩模等表面上對電子束抗性進行陣列設計。電子束拍攝各個像素點，然後將它們積分到一個定義的大小和形狀。精確的基於階段的投影對齊曝光，以確保準確實現所需的覆蓋區域。FEI麥哲倫400L機集成了一系列先進的硬件和軟件功能，如可確定最佳光束電流、曝光時間和分辨率設置的自動校準工具，以獲得最佳模式分辨率。它還配備了一個精密的軟件資產，用於制圖、UV光刻和電子束光刻。該模型的控制面板可方便地訪問各種參數,包括光束速度、聚焦範圍、加速度和減速、聚焦位置、向前和反向傾斜以及矢量線性。它的高分辨率也使得它適用於升空和PR塗層等反向過程。該設備還包含許多安全功能,包括可調節的安全梁和緊急停止功能。其堅固可靠的結構使用戶能夠將其保持靜止並保持穩定的平臺。該系統的振動穩定性、分辨率、低顆粒汙染和無影圖樣使其成為尋求可靠、精確的抗震裝置的人們的一個有吸引力的選擇。
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