二手 POLYTEKNIK Cryofox Explorer 600 #9189760 待售
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ID: 9189760
晶圓大小: 8"
優質的: 2007
Thin film coating system, 8"
(4) Pockets
Wafer load, 6"
E-beam source
No magnetrons
No water cooled substrate
Turbo pump
Roughening pump
Technical specifications:
Vacuum system, standard: TMP1: 240 l/s, TMP2: 400 l/s, RP: 35 m³/h dry pump
Base pressure: 1E^-7 mbar range
Electric supply: 3 x 400 V, 7 kVA peak
Cooling water supply: 18°C-25°C, max 6 kW cooling capacity peak
Cooling water flow: 18 L/min, 5 bar max pressure difference
2007 vintage.
POLYTEKNIK Cryofox Explorer 600是一款光刻設備，旨在實現高質量的成像和精密蝕刻。該系統采用獨特的冷蝕刻技術，降低了光刻膠的導熱系數，從而在蝕刻過程中實現了更高的精度。此外,Explorer 600還提供了一個溫度可控的烘烤站,能夠達到130°C的溫度,有利於在一系列任務中獲得一致的結果。Explorer 600配備簡潔、符合人體工程學設計的觸摸屏界面和啟用代碼的配置文件自定義功能,允許用戶輕松訪問設備的各種參數。這臺光刻機采用1.8 kW高功率CO2激光器，提供了比同類抗蝕劑系統更高質量的成像分辨率。該激光器能夠在高度精確的線寬~ 5 µm的基礎上制作多達6英寸的圖樣，有利於包裝和原型設計等應用。該激光器還具有可調的強度參數,便於大批量生產的快速周轉時間.Explorer 600光抗蝕劑工具還具有五種不同類型的加工配方和一系列基材載體。利用通用的壓力密封，機器可以處理任何常見的設備基板材料，尺寸不超過6英寸。加工室中增強的安全控制使操作員能夠在高度受控的環境中執行諸如晶圓安裝和對準等處理任務。Explorer 600非常適合那些需要平衡的工藝參數、高分辨率成像分辨率以及能夠對一系列基板進行陣列設計的產品。設計考慮到自動化和可靠性，光刻資產確保可重復的結果和全面的性能數據。耐用的結構和較低的維護要求使Explorer 600成為用戶希望達到最高效率和高質量結果的寶貴工具。
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