二手 PRAXAIR CoArc 9910 #293591595 待售

PRAXAIR CoArc 9910光刻設備是一種用於制造廣泛行業的微電子器件的最先進的工具。它是一個利用光刻技術的全尺寸自動化系統，這是一個將圖樣轉移到基板表面的過程。光刻是微機械的基石，是芯片、集成電路等電子設備的小型化。CoArc 9910利用高分辨率光學投影單元，在基板上暴露出均勻的感光材料層，通常被稱為光致抗蝕劑。PRAXAIR CoArc 9910的基板尺寸可達914毫米x 914毫米,為生產比市場上其他系統更大的尺寸打開了大門。這臺光刻機還配備了一個自動裝載機，可容納多達20個長度從200毫米到880毫米不等的基材盒式磁帶，從而縮短了正在進行的生產所需的時間。CoArc 9910能夠處理從365 nm到113 nm的光刻波長，允許來自一系列行業的應用。它的5通道自旋塗層允許在多個基板上同時進行分離過程，以及獨立的泵和主要功能。PRAXAIR CoArc 9910還包含一個可選的晶片分選器,可處理多達26個、8英寸或25個、12英寸的各種尺寸的基板,並可選擇為總共39個晶片安裝第三個傳輸臂。總體而言,CoArc 9910光阻工具的功能為用戶提供了超過其行業同行的功能。其頂端精確光學投影能力使其成為需要基板上高分辨率圖樣的行業的理想選擇。從醫療器械行業到半導體行業，等等，PRAXAIR CoArc 9910是為適應一系列應用而打造的，準備協助企業進行微加工項目。