二手 PVA Delta 8 #293587055 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 293587055
優質的: 2018
Conformal coating machine
Hand cycle star
Push-button
Syringe supply:
Air caps: 0-60 PSI
With digital pressure switches
(2) Motion axes:
X, Y: Top
Z: Bottom
(4) Controller axes
Head tooling: Custom
Controller: 4000
X-Stroke: 621 mm
Y-Stroke: 595 mm
Ballscrew lead:
10 mm/Rev
1 mm/Rev
(2) Z-Stroke: 90 mm
Material delivery: Dispense cart
Pressure vessel: (2) Gal
Air requirement: 80-100 PSI
Dry
CFM: <10
Head 1, Head 2, Head 3, Head 4:
Z-Slide
Stroke adjust
Atom range: 0-15 PSI
SMC
KALREZ O-Ring
FCS300-F Top valve:
Cross drilled
Atom air ports on both sides
Space syringe away
Nipple, 3"
(2) Spares
Double tooled:
Front to rear spacing adjustable, 3"-8"
Spacing top to bottom: 9"-11.5"
Guarding:
Interlock doors
Bellows: Metal side gap panel
White light tower
Process control:
(2) Flow monitors
TURCK M12 Conn
(2) Low levels
PC
OIT Portal
Ventilation:
Minimum CFM: 600
PVA Blower
Exhaust switch
Flange diameter: 6"
Blower exit diameter: 6"
Upper side panel
Material 1:
Rosin-based flux material
KALREZ O-Ring
Hose: SSMPC / TEFLON
Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 15 A
2018 vintage.
PVA Delta 8是為半導體工業中使用的先進光刻工藝而設計的光刻系統。它是一種負色調的光刻膠，可實現優越的圖樣形成、不透明度、邊緣分辨率和高質量的線寬控制。Delta 8是一種三組分溶液，由可聚合乙烯基單體、光酸發生器和溶解在抗蝕劑中的光不溶性染料組成。光酸發生器在暴露於紫外線光源時，產生一種強酸，能夠引發陽離子聚合。這種酸負責抗蝕層內特定區域的蝕刻，而抗蝕劑的剩余區域則保持完整。不溶性染料是負責光吸收能力的成分。這是通過它吸收紫外線的能力，以及在各種其他較長波長範圍內的光來完成的。第三種成分，聚乙烯醇，既作為結合元素，又作為保護層，因為它傾向於將染料分子保留在其分子結構內。這種分子結構也增加了聚乙烯醇暴露部分與未暴露部分的溶解速率之比。這三個元件在抗蝕劑溶劑內的組合使得PVA Delta 8系統能提供卓越的分辨率、邊緣輪廓和優越的線寬控制。還表現出優良的加工特性、附著力、低溶解度和底切比。由於其復雜性，Delta 8非常適合於先進的器件制造工藝，包括氮化的半導體器件，也經常用於光掩模、MEMS和指紋元件制造。它也被用於光電和平板顯示器制造的高精尖領域。
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