二手 PVA Delta 8 #293623207 待售
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單擊可縮放
ID: 293623207
優質的: 2018
Conformal coating machine
Hose: SSMPC / TEFLON
Flux material: Rosin-based
(4) Motion axes: X, Y, Z (Top), and Z (Bottom)
(4) Controller axes
Spare valves
Controller: 4000
X-Stroke: 621 mm
Ballscrew lead: 10mm/rev
Y-Stroke: 595 mm
Ballscrew lead: 10mm/rev
(2) Z-Strokes: 90 mm
Ballscrew lead: 1mm/rev
Heads 1 and 2:
Top and bottom valve
Z-Slide
FCS300-F Valve
Atom air range: 0-15 PSI
SMC
KALREZ O-Ring
Liner pressure vessel (2 Gal)
Air requirement: 80-100 PSI
Dry
CFM: <10
KALREZ O-Ring
Guarding:
Interlock doors
Bellows: Metal side gap panel
Light tower
Process control:
Low level
PC
OIT Portal
White light
Ventilation:
Minimum CFM: 600
PVA Blower
Exhaust switch
Flange diameter, 6"
Blower exit diameter, 6"
Upper side panel
Syringe supply:
(2) 30cc Air caps 0-60 PSI regulator with digital pressure switches
Power supply: 120, 208-230 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 15 A
2018 vintage.
PVA Delta 8是一種光刻設備，用於成像半導體器件和其他微電子結構的光刻工藝。這種光致抗蝕劑系統由一層稱為聚乙烯醇（PVA）的聚合物材料組成，它在器件和光致抗蝕劑薄膜之間起掩蔽劑的作用。Delta 8光致抗蝕劑單元對紫外線具有極高的靈敏度，能夠分辨出低至8微米的特征尺寸。它對於需要極小特征尺寸和高分辨率圖像的設備和微電子結構特別有用。PVA Delta 8光致抗蝕劑機由4個部件組成：一種光致抗蝕劑、一種堿性塗層材料、一種耐蝕刻材料和一種聚合物薄膜。光致抗蝕劑層采用紫外線圖樣，作為成像層。它有選擇地暴露一個陣列區域，該區域被開發用來創建所需特征的圖像。基底塗層是作為光刻層載體的材料，為確保成像過程的準確性提供所需的穩定性。耐蝕刻材料可以保護蝕刻過程中的特征,並且可以設計為覆蓋多種材料。最後，聚合物膜是一個柔性層密封成像過程和保護結構。Delta 8光刻工具適用於數字微鏡設備（DMD）和其他需要極高分辨率的設備。該資產可用於顯示器、微流體傳感器和其他MEMS等設備。PVA Delta 8光刻膠模型是微電子過程中必不可少的工具.它的高靈敏度和分辨率能夠對極小的設備和結構進行成像，並具有精確和持久的圖像。這種設備可用於各種工藝和材料，確保滿足最嚴格的要求。
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