二手 RITE TRACK 8800 #9093246 待售

RITE TRACK 8800
製造商
RITE TRACK
模型
8800
ID: 9093246
晶圓大小: 6"
Developer systems, 6".
RITE TRACK 8800是由RITE TRACK, Inc.開發和設計的一種光刻膠設備,其目的是在基板上沈積薄層的光固化聚合物,以產生所需的厚度或輪廓。8800能夠在基板上沈積單層和多層光致抗蝕劑。RITE TRACK 8800使用熱固化工藝以沈積其光刻膠層。這一過程的工作原理是在真空環境中將基板(如ITO或SiN層)加熱至高達350 °C的溫度。然後將加熱的基板暴露於紫外線光源的光照下。這種紫外線光源使光致抗蝕劑分子聚合,在底物表面形成一層薄薄的聚合物。然後將聚合物層熱固化,完成程序。熱固化過程可以微調,達到不同類型的抗蝕劑型材。這些抗蝕性輪廓包括薄而均勻的層,以及更復雜的輪廓,如階梯狀或漸變層。這使用戶能夠獲得各種各樣的最終結果。8800還為包括微電子、MEMS和微流體組件在內的各種應用提供了經濟高效的解決方案。它還能處理矽、玻璃、塑料等尺寸達4英寸的基板。RITE TRACK 8800是一個非常通用的系統,可以針對各種流程進行定制。8800還具有自動防腐劑剝離裝置,用戶可以輕松清除多余的防腐劑並獲得完美的效果。它還可以與其他系統集成,為光刻膠處理提供全面的端到端解決方案。此外,RITE TRACK 8800還有一個串聯監視器,可以不斷監控機器,以最大限度地提高沈積層的質量。總體而言,8800是一種高效、經濟高效的熱固化光致抗蝕劑沈積解決方案。此工具提供了多層和輪廓的便利和靈活性,以及用戶友好的自動剝離資產。RITE TRACK 8800的串聯監視器和與其他系統的兼容性使其成為各種要求苛刻的光刻工藝的理想選擇。
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