二手 RITE TRACK SVG 88 #293592399 待售

RITE TRACK SVG 88是一款設計用於微電子工業的光刻設備。它是一個單步工具，用於可靠生產極小的互連線路，最小寬度為0.3 μ米（微米），在微調的生產速度下可達到高精度。該系統的工作原理是通過顯微光刻圖樣過程將抗蝕劑材料暴露在紫外線下。紫外線被吸收到抗蝕劑中，激活在蝕刻圖樣中使抗蝕劑硬化的反應性位點。這種處理方法產生了高度精確的層，可以很容易地集成到電路中。該單元分為兩個階段：光刻和蝕刻。在光刻中，使用光掩模來定義抗蝕劑中所需的圖案。面膜是一塊薄薄的玻璃，塗有光敏材料。光敏材料隨後暴露在紫外線下，紫外線照射材料，使其激活並導致所需的圖樣發展。然後將在抗蝕劑上創建的圖樣轉移到基材上。在蝕刻過程中，光致抗蝕劑圖樣隨後通過使用反應性氣體或化學物質轉移到基材上。根據基材中使用的材料，可以使用不同的蝕刻方法。例如，反應性離子蝕刻（RIE）可以用於介電材料，離子束蝕刻用於金屬薄膜，等離子體蝕刻用於有機物和電阻性薄膜。由於RITE TRACK 88是一個單步過程，因此光刻膠與蝕刻階段同時完成，以產生非常小尺寸的高度精確的互連線。SVG88機器的使用為用戶提供了幾個優點，因為它提供了極高的準確性、更高效、更經濟高效的過程和更好的靈活性。此外,它還允許生產尺寸較小的管線和元件,這些管線和元件可用於創建更復雜的設計。這種工具常用於印刷電路板、半導體器件和MEM的生產，並在現代電子制造業中日益普及，因為它便於高效生產高度精確的元件。