二手 RITE TRACK SVG 88 #293814158 待售

RITE TRACK SVG 88
製造商
RITE TRACK
模型
SVG 88
ID: 293814158
晶圓大小: 6"
Coater / Developer system, 6".
RITE TRACK SVG 88是由RITE TRACK Technologies開發的多步光刻設備。該系統采用獨特的紫外線組合,使激光曝光和化學工藝達到高度精確的基板蝕刻水平。整個過程由一個交互式圖形界面軟件平臺控制,簡化了過程的設置和控制。該單元的核心是激光曝光階段,其中使用啟用紫外線的激光來曝光基板。這種激光曝光在所需蝕刻圖樣的形狀和深度上提供了超高精度,而傳統的方法如濕蝕刻或幹蝕刻是無法實現的。光波長可以精確控制,其角度可以變化,以實現精密蝕刻與最小的材料浪費。一旦基材暴露在外,下一階段是表面化學輸液工藝,準備基材進行蝕刻。這是通過使底物與化學溶液接觸來完成的。此溶液會穿透表面,使其容易受到蝕刻過程的影響。根據特定材料的不同,現階段可以使用多種不同的化學品。RITE TRACK 88工藝的最後階段涉及基材的實際蝕刻。這是通過使用特殊的激光控制工具切入基板表面來完成的。通過精確控制激光束,可以根據非常精確的規格對蝕刻工藝進行定制,從而確保盡可能高的精度以達到所需的蝕刻結果。所有這些階段都由交互式圖形界面軟件平臺控制,使用戶能夠輕松設置和控制進程。這個平臺提供了曝光和蝕刻過程的視覺表示,允許微調參數,如激光曝光、角度和蝕刻時間的持續時間。有了這個平臺,SVG88臺機器就能快速準確地提供極其精確可靠的蝕刻效果。
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