二手 RITE TRACK SVG 8826 / 8836 #9209021 待售

RITE TRACK SVG 8826/8836是為過程光刻中的應用而設計的光刻設備。光刻是一種用於制造集成電路和納米級光掩模的工藝。該裝置由曝光單元、光掩模、鋁制口罩支架和定位臺組成。配備超亮電子束照明的SVG 8826/8836曝光單元，便於在亞微米範圍內持續曝光的高分辨率圖像。這使得高密度工藝光掩模和精確的微電子制造成為可能。它還有一個內置的光學對準系統，可以快速精確地定位圖像。RITE TRACK SVG 8826/8836的光掩模是由對紫外線和電子束照射敏感的矽接地玻璃製成，允許高解析度的影像和對準。鋁制口罩支架設計用於安全存儲和運輸光口罩。支架還配備了最小化機械應力的特性，確保掩模表面光滑平整，以更好的光掩模特征定義。最後，定位階段和X-Y掃描臺能夠快速、精確地對準和聚焦，以促進微電子元件的一致和準確的制造。掃描臺由精密球形螺釘驅動，而閉環控制單元則向掃描臺提供反饋。此設計可確保精確的重新定位,並使光掩模與曝光單元正確對齊。總體而言,SVG 8826/8836是一臺精確可靠的光刻機床,在低至中端曝光時提供高精度分辨率圖像。它具有快速準確的位置精度和可靠的曝光裝置，是任何微電子制造工藝的理想選擇。