二手 ROBERT BÜRKLE GMBH RCF-12M1800 #9353284 待售

ROBERT BÜRKLE GMBH RCF-12M1800是一種光刻塗層和顯影設備,設計用於半導體制造的最大效率、質量和成本效益。該系統采用高度精確和溫度控制的自旋塗層工藝，在晶片表面上均勻準確地塗抹光刻膠。該裝置采用耐磨工藝，以確保光致抗蝕劑具有盡可能高的附著力和均勻性。RCF-12M1800光刻機結合了靜態和動態液體分散技術，在浸泡和自旋塗層應用中提供了均勻的光刻分布。該工具提供單碗噴塗溶液,消除滴水和/或堵塞問題,並減少手動清潔。這一先進的資產還具有可調噴嘴，允許應用光刻精密和一致的精度。此外,ROBERT BÜRKLE GMBH RCF-12M1800光刻膠模型具有高度可配置的模塊化平臺,可提供滿足客戶應用要求的最佳靈活性。集成軟件大大降低了運營成本,提高了生產效率並提高了質量保證。該設備采用一系列傳感器來精確監控開發過程。它的高級編程接口（Advanced Programming Interface, API）允許用戶根據需要修改現有程序或創建自己的專用程序,從而確保盡可能高的產量和質量結果。最後，系統配備了兩個獨立的輸送容器，允許同時應用光致抗蝕劑和開發晶片。它提供了用戶友好的液晶觸摸屏,方便現場訪問。由於具有通過先進的熱管理裝置控制溫度的能力，該機器能夠滿足最苛刻的光刻加工要求。RCF-12M1800是半導體、電子和光學等行業的理想解決方案。