二手 S CUBED / S3 TX535C #9179981 待售

S CUBED/S3 TX535C是一種最先進的光刻設備,專為各種光刻工藝而設計。它由一個強大的短波長輻射源、一個用於基板定位的晶片級和一個用於光刻膠的自動處理系統組成。該裝置能夠提供20nm的基板分辨率和1.0微米的特征尺寸。S3 TX535C中使用的輻射源是超短波長準分子激光器，允許200納米至350納米的波長範圍。激光可以產生長達460納秒的脈沖，產生小至20納米的空間分辨率。另外，激光器能夠控制每個脈沖的波形，從而能夠很好地控制激光束的強度分布。S CUBED TX535C晶片級采用XYZ電動調節機和溫度穩定工具，可實現準確可靠的基板定位。它還具有減振資產，以確保基板在光刻過程中保持穩定，並且可以容納直徑達8英寸的基板。TX535C的自動控制處理模型有助於使過程如此高效和一致。它通過自動機械臂加載、對準和卸載光刻膠,以確保準確性並減少人為錯誤。該設備還被設計為跟蹤其每個部件的性能，確保它們始終產生所需的結果。總之，S CUBED/S3 TX535C是一種先進的光致抗蝕劑系統，旨在提供低至20納米分辨率的一致結果。它結合了短波長準分子激光器、先進的晶片級和自動化的處理單元，使其成為可靠的光刻過程的強大工具。