二手 SANYU WB #187221 待售

SANYU WB是設計用於制造半導體器件的光刻設備。該系統提供了一種將一層或多層光致抗蝕劑制圖到所選基板上的方法,然後是高質量的制圖步驟。WB單元是一種噴塗或旋轉的光致抗蝕劑機器，其設計使用戶能夠快速和輕松地用光致抗蝕劑薄膜覆蓋基板。然後，這種光致抗蝕劑會受到紫外線輻射，以使薄膜的特定區域變硬，從而形成所需的圖案。該工具由幾個組件組成，這些組件協同工作，在基板上產生高質量的光刻膠圖案。這包括噴塗計量單元、成像單元和固化單元。測光裝置將光致抗蝕劑分配到基板上，然後使用最多四個不同的紫外線掩模對其成像。將所需的圖樣成像後,將使用固化裝置將其固化到位。與傳統的光刻方法相比,SANYU WB資產具有多種優勢.例如，它的噴塗機理使得它非常適合像旋轉塗層這樣的濕應用，因為光致抗蝕劑可以均勻地分散在整個基板上。此外,它的四個蒙版在設計復雜形狀時具有更大的靈活性。最後，它的固化單元確保光刻膠圖樣被固化到最高標準--允許芯片增產特性。總體而言，WB模型是一個理想的工具，用於快速陣列光刻膠在基板上用於制造半導體器件。它提供了快速、簡單的塗層和廣泛的圖案設計功能,以及高質量的固化,使其成為半導體設計師的寶貴資產。