二手 SCHAAF TECHNOLOGIES GMBH 320 #9212900 待售

SCHAAF TECHNOLOGIES GMBH 320是一種光刻設備，能夠在半導體制造過程中將陶瓷膜沈積到基板上。該系統采用稱為「化學氣相沈積」（CVD）的半導體制造方法，將一層薄薄的陶瓷沈積在所需的基板上。沈積是在加熱的環境中進行的，在這種環境中，矽烷、氧氣和蒸氣形式的氮等反應物被註入室內。反應物在基板表面分解，直接在基板上形成電阻陶瓷塗層。這種高度受控的沈積工藝為各種半導體應用提供了理想的薄膜。合成的陶瓷塗層可用於電子元件的耐化學性、隔離和鈍化，或用作生物醫學有機結構的保護性塗層。該層具有很高的適應性，但對磨損和反復暴露在高溫下具有很高的抵抗力。320可用於高質量薄膜沈積的批量和串聯工藝。該單元設計為與矽烷、氧氣、氮氣等常用前體兼容，允許將沈積特性定制到特定應用。可以精確修改壓力、溫度、反應物濃度等控制參數，以優化結果。該機器采用逐步沈積工藝，將反應物以增量方式引入受控環境，從而實現一致的薄膜沈積。最後，SCHAAF TECHNOLOGIES GMBH 320是一種高度安全可靠的工具，所有組件都封閉在保護性外殼內。資產包括用於保護腔室的內置冷卻模型,以及隨時監控設備性能的傳感器陣列。整個系統設計得盡可能緊湊，這使得它成為任何受大小和空間要求限制的環境的理想解決方案。