二手 SCHMIEDESKAMP 455 M4 #188883 待售
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SCHMIEDESKAMP 455 M4是一種高性能的自動化光刻設備,設計用於在基板表面沈積光刻層。該系統由三個集成組件組成:一個自動分配單元、一個高精度的旋轉器和一個旋轉式烘幹機。集成配電機的設計是為了以受控和可再現的方式將液體光刻劑精確自動地分配到基板表面上。Spincoater配有激光閱讀器和精密主軸,將光刻膠精確地沈積在基板表面。旋轉幹燥機還設計用於在表面均勻塗抹光刻膠,幫助確保在固化前均勻分布任何多余的材料。最後,自旋烘幹機有助於加速固化過程,允許更大的控制和固化時間。精密主軸提高了刀具的性能,具有高精度和精確的循環運動。這使得在沈積光致抗蝕劑時具有更好的分辨率,從而持續準確地沈積高度可重現的圖樣。此外,自動分配資產有助於確保可重復過程的準確性,精確跟蹤分配的光致抗蝕劑,並對溫度進行控制以實現最佳固化。分配和固化過程的準確性和精確度相結合有助於確保後續過程(如蝕刻)的一致結果。455 M4的特性組合使得它成為各種光刻膠應用的理想選擇。其沈積精度和精確度使其非常適合接觸印刷等細線光刻應用,而其高速能力和自動化工藝使其成為高通量、大批量生產的理想選擇。此外,半自動化工藝有助於保持制造工藝的成本效益,使其成為許多光致抗蝕劑應用的理想選擇。
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