二手 SCL CD 200A #9352010 待售

SCL CD 200A是為半導體工業中的光刻工藝而設計的通用光刻設備。它由液體光致抗蝕劑、負面罩、光源和工藝室組成。光致抗蝕劑是一種光敏材料，它被施加到晶圓上，並暴露在帶有負面罩的光源下。遮罩由一個透明和不透明的區域組成，這些區域允許一定數量的光通過光刻膠。當光致抗蝕劑暴露於光時，它會發生化學變化，根據光的波長，它要麼交聯，要麼降解。這樣就可以在晶圓上對特征進行高度精確的圖樣化。SCL CD 200 A系統具有控制光刻工藝的先進工藝室.它可以控制溫度、壓力、濕度、大氣等各種參數。這允許一個高度受控的光刻過程，提供準確和可重復的結果。此外,該設備還可用於幹法和濕法加工.該機利用液浸技術進行濕處理，實現了更高的分辨率和更好的工藝控制。該工具能夠處理多種基材，包括光掩模、拓撲玻璃、石英和石英玻璃。設計為連續單軌和雙軌生產運行。它使用專有的均勻光源，以確保在晶片上的曝光一致。該資產既可用於正負光刻膠，也可處理從深紫外線到紅外線的各種波長。CD 200A模型提供了高度的過程和性能一致性。它提供了改進的分辨率和增強的過程控制。它是一種全自動設備，可用於大批量生產過程。它易於使用和維護,非常適合高精度、經濟高效的光刻工藝。