二手 SCL CD 400 #9102037 待售

SCL CD 400是一種光刻設備,旨在為各種應用（如微芯片、微機電系統或其他光刻過程）產生極高分辨率的圖樣化特性。該系統包括兩個主要組件：光源和曝光板.光源設計為提供300-400nm的波長範圍，以便在曝光過程中在光刻膠層上產生最佳對比度和特征。曝光板表面有一個精確的柵格圖案，當光源聚焦在板上時允許精確的圖案定位。CD 400的光學元件由聚焦透鏡組成，在曝光板表面上產生極小的光斑尺寸，用於精確的圖樣曝光。鏡頭設計成將深紫外線（DUV）鏡頭聚焦在放置在抵抗板上的均勻小光束中。根據光刻膠所需的照明水平調整曝光光。在典型的曝光過程中，對光源施加電壓波形以限制其強度。一旦光源調整，基板被放入SCL CD 400的真空室。將曝光板插入腔室，然後將光致抗蝕劑板放置在板上。最後，在暴露前，一種惰性氣體，如二氧化碳，被泵入腔室，這種氣體擴散光，消除任何光學像差。曝光後，光致抗蝕劑可以在底物從真空室中除去後在化學溶液中顯影。經過開發過程，光刻膠層會有由CD 400的光源所創造出的精確定義的特徵。SCL CD 400光刻裝置是為高分辨率和操作簡單而設計的。機器的光源和精確的曝光板創造了一個高對比度的光刻層，可以精密開發。充滿真空室的惰性氣體有助於消除光學像差和散射光，使CD 400能夠創造出與傳統光刻方法相媲美的精細特征。