二手 SCL CD 500 AR 42 #9102796 待售

SCL CD 500 AR 42是一種設計用於半導體器件制造工藝的電子束光刻設備。其設計目的是在用於生產集成電路的介電材料和導電材料上創建納米級特征和關鍵尺寸。該系統包括多電子束光刻源、強大的測量能力和軟件控制的光刻膠管理單元。CD 500 AR 42的電子束源具有支持高加速度的共振鏡頭內機，提供了先進光刻圖樣所需的高分辨率圖像。利用其廣泛的光束電流密度，可以調整工作條件以優化光刻膠和基材的曝光。此工具強大的計量功能包括測量動態焦點、線/跨度跟蹤、標記上的臨界尺寸（CD）和輪廓輪廓的能力。為了便於集成到自動化生產環境中,SCL CD 500 AR 42配備了應用程序編程接口（API）,並具有與各種通信協議的兼容性。CD 500 AR 42光刻膠管理資產為設備制造中使用的各種光刻膠提供全面支持。該模型包括一個高精度的自動化設備，用於控制光刻膠預處理和曝光後烘烤的多個方面。它旨在保持曝光和烘烤周期之間的最佳窗口，確保可靠和可重復的光刻膠開發。SCL CD 500 AR 42是任何半導體生產設施的理想選擇。該系統具有堅固的設計和高性能,為生產復雜的納米級特性提供了極其可靠的解決方案。此外，內置的計量系統可以快速準確地控制曝光過程，而其光刻膠管理部門為曝光前和曝光後的應用提供了一個自動化、可靠的解決方案。