二手 SCL CD 500 #293661305 待售

SCL CD 500是一種集成光刻設備，設計用於執行平板顯示器（FPD）和半導體器件的抗蝕塗層和圖案設計等關鍵生產應用。它結合了先進的自旋塗層和軟烘烤技術以及精確的晶圓調平和關鍵的清潔，提供了高度均勻的抗蝕性塗層。CD 500裝有300 mm x 300 mm的腔室，支援350 mm的製程，晶圓尺寸可達8英寸。它采用高精度旋轉頭塗層和烘烤高達4,500 rpm,可容納靜態晶片以及平面外傾斜度高達2°的晶片。該系統的特點是集成載波與附件氣泡設置技術，使光刻膠的快速溶解與最小的碎片。這樣可以使塗層更加精確和均勻。該單元還兼容電子束、液晶抗蝕劑、固體型等標準和先進的光刻材料。對於抗性塗層，SCL CD 500包括用於維持基板和基板卡盤平整度的先進運動，確保了精確均勻的塗層。CD 500的旋轉頭具有廣泛的旋轉速度設置，允許用戶調整速度以適應光刻膠的類型和厚度。在制圖和蝕刻過程中，該機具有高精度噴射水平，有多個噴嘴，位置精度為1 μ m，以確保光刻膠層的制圖均勻。集成式排水閥有助於確保光敏液體的正確處置，而集成式真空泵有助於最大限度地減少氣泡，在基板上形成高度均勻和致密的光敏。SCL CD 500是一種高度精確的自動化光刻工具,旨在有效地為要求苛刻的FPD和半導體應用提供最高質量的結果。其先進的特性和技術確保了高度均勻和清潔的光敏塗層和圖案，提供了一致的工藝結果，使復雜的FPD應用成為一種微風。