二手 SCL CD 500 #293819405 待售

SCL CD 500是一種高分辨率的光阻設備，設計用於精確地在只讀存儲器（ROM）和動態隨機存取存儲器（DRAM）上創建用於集成電路（IC）制造的高分辨率模式。它與包括0.25 um、0.18 um和90 nm在內的主要工藝流程兼容。其單步、以化學為基礎的工藝消除了多次接觸步驟的需要，從而顯著加快了生產率。該單元還可以提供均勻的圖樣密度以及其他光刻或電子束工藝無法比擬的忠實圖樣和可控靈敏度。CD 500的主要優點是成本低、吞吐量高、分辨率好。機器可以方便地處理2D和3D結構，因此可以用來創建內存技術所需的錯綜復雜的接觸層和高度的互連性。此外，該工藝還能抵抗環境汙染物和溫度波動的影響。光致抗蝕劑工具的關鍵組件包括自動裝載機、圖案化ROM、顯影劑資產和旋轉塗層室。自動加載程序將陣列化的ROM加載到模型中,並允許自動操作以進行大批量生產。ROM由金屬氧化物半導體（MOS）層組成，並以感光化學摻雜劑或「光致抗蝕劑」圖樣。然後,顯影劑設備將曝光的圖樣按ROM中的光致抗蝕劑圖樣進行操作。旋轉塗層室以精確的速率將光刻膠旋轉到ROM的表面上,以確保塗層均勻。通過如上所述的過程，圖樣化的光刻膠層可以轉移到ROM上。最後，該系統配備了前沿自動化和監控系統，便於設置和融入現有生產線。這可以實現完整的過程控制,並提高光刻裝置的準確性和可靠性。總之，SCL CD 500光刻機是一種精確可靠的工具，用於創建高密度的圖樣和互連。它提供了優於傳統光刻和電子束工藝的分辨率和速度。該工具也是IC生產的經濟選擇，可以很容易地融入現有生產線。