二手 SCL CD 500 #293819612 待售

SCL CD 500是一種用於微加工的光刻設備。它涉及在矽基板上應用光敏材料，稱為光敏材料。這種光致抗蝕劑隨後被暴露在強大的脈沖激光下，在光致抗蝕劑中產生一種化學和結構變化的圖樣，可以用來精確形成膜、層和其他特征。CD 500非常適合用於半導體制造應用,因為它可以產生非常精確的幾何形狀和極低特征尺寸的結構。光刻膠由兩種不同的組分組成，一種感光劑和一種樹脂。感光劑是一種吸收激光能量的材料，導致在光致抗蝕劑中發生反應。樹脂組分是在基板上形成膜的聚合物。使用激光對薄膜進行圖樣化，薄膜的暴露區域進行蝕刻。此蝕刻步驟在光刻膠內創建所需的結構。SCL CD 500以稱為直寫激光快速原型（DW-LRP）的方式運作。這種方法結合了電子束光刻（EBL）和激光快速原型，以及常規的掃描激光光斑光刻（SSLL）。DW-LRP能夠在短時間內創建非常高分辨率的結構。CD 500具有250Hz的激光重復率,使其能夠產生特征尺寸極小的圖樣。該系統還能夠同時產生多層。這種能力對於產品需要多層的應用是有益的，例如太陽能電池或發光二極管。SCL CD 500單元提供了一系列環境效益。這是一個無害環境的過程，因為它不會產生有害汙染物或廢物。該機還使用相對較低的能量，這有助於降低運營成本。此外,該工具非常可靠,產生一致的結果,並且只需最少的維護。總體而言，CD 500是專門為微加工應用開發的高度先進的光刻膠資產。它具有很高的精度，能夠在相對較短的時間內產生高度復雜的結構。該模型的無害環境操作進一步增加了其價值，使其成為生產半導體工業元件的有用和具有成本效益的工具。