二手 SCL SD 3000 #9052117 待售
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ID: 9052117
Dip coating machine
Class 1000 (inside the machine)
Temperature: 20°c +/- 2°c
Humidity: < 50%
Lenses racks:
(15) Racks, 28 mm, 2 x 18 lenses
(5) Racks, 35 mm, 2 x 14 lenses
Temperature (in the tanks):
Detergent tanks: up 60º C
City water rinsing tanks: Ambient temperature
DI Water tanks: 38º C
Liquid range of viscosity limitation:
Varnish pumps: ~ 5 CP
Air filters: Laminar flow inside machine
Absolute EPA filter and pre filter
Raw materias:
Stainless steel tanks
Over flow tanks
Pipes
FIlter
Stainless steel varnish circuit
Dipping speed limit:
Lift out tank 7 (Di water)
Dipping varnish tank (1&2)
1 mm/s (10%) to 8 mm/s (100%)
Coating tank: 5º C, 10º C, 20º C
Limitation – temperature & concentration:
Detergent – 60º C.
NaOH: up to 15%
Varnish: temperature controlled by chiller, between ambient and 5º C
Water:
Tap water with pipe Ø 16 mm
D.I water with pipe Ø 16 mm
Draining PVC pipes Ø 50 mm
400 V 50/60 Hz, 3 phases + neutral + ground, 22KW.
SCL SD 3000是一種光阻設備，設計用於微電子和層壓等工業應用。該系統使用精密的電子束在各種底物上創建圖樣和形狀。該單元能夠精確、精確地蝕刻各種材料，包括鋼、鋁和半導體。機器創建的蝕刻模式可用於創建各種設備和產品,從表面安裝技術組件到天線和RFID標簽。SD 3000使用專門的化學蒸氣容器（CVV）將基材浸入光刻膠中。CVV被加熱到一個特定的溫度，這會使光致抗蝕劑變得更粘稠。這使電子束能夠快速準確地掃描所需的基板表面圖樣或形狀。電子束經過微調，提供了高精度，即使對於錯綜復雜的形狀和細節圖案也是如此。電子束被一個充滿惰性氣體的氣室包圍，如氮氣、氙氣和氙氣。當電子束移動時，它會產生一個電弧來加熱惰性氣體，這反過來又會使少量的光致抗蝕劑蒸發到基材上。電弧和加熱氣體的結合產生一個等離子體，它以所需的模式將光致抗蝕劑沈積到基板表面上。整個過程發生在CVV腔內，蒸汽沈積的光致抗蝕劑是高度均勻和有彈性的。SCL SD 3000還附帶了用於控制用電子束創建的圖樣和形狀的集成軟件。這樣就可以快速輕松地自定義要創建的形狀和模式,以便用戶可以創建復雜的形狀和詳細的模式。該軟件還可以輕松集成到現有系統中,從而輕松將SD 3000集成到任何現有的生產過程中。整體SCL SD 3000是一種強大而精確的光刻工具，可用於在各種材料上創建復雜的形狀和圖案。電子束精度高，提供了高度的精確度，集成軟件允許對正在創建的形狀和圖案進行快速輕松的定制。最後,資產安全可靠,確保每次結果一致。因此，SD 3000是微電子和層壓等工業應用的寶貴工具。
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