二手 SCREEN RF-300A #9355350 待售

SCREEN RF-300A是一種晶圓步進器，用於半導體制造中復雜光掩模的精確對準和曝光。它的特點是易於使用、設計健壯,並配有市場領先的性能和高級功能。RF-300A的最大投影圖像大小（掩模大小）為484x484 mm,曝光波長範圍為365-442nm,並具有非球面透鏡以提高圖像分辨率。它具有創造性的光電驅動設備,能夠高效、精確地對準復雜的口罩,並具有高精度。舞臺由混合動力電機系統驅動，最大舞臺速度可達270mm/sec，允許最大網格尺寸可達30,620 x 30,620；這使得SCREEN RF-300A適用於高吞吐量的生產方案。步進器提供多種曝光模式，如單晶片、多晶片、狹縫掃描和反向曝光，以滿足各種曝光要求。通過使用高精度單元對準特征和主動對準傳感器機器進一步提高了曝光精度，從而確保將圖像精確地放置在晶圓上。機器還提供一個獨特的電子快門，其中曝光可以由觸發器啟動，而快門保持打開狀態。這允許暫停曝光，允許重新曝光或重置曝光參數，即使在曝光已經開始。此外,RF-300A還有一個內置的曝光報告工具,用於記錄曝光時間、頻率和曝光能力等詳細信息,從而確保可靠的工作流程和數據可追蹤性。該機設計方便維護操作，支持各種自動維護功能和彩色液晶顯示屏，用於監控曝光過程。步進器還配備了內部冷卻資產和電離器，以及排氣過濾器，保護用戶免受危險化學品和顆粒的接觸。總體而言，SCREEN RF-300A是一種先進的晶圓步進器，為半導體制造提供高分辨率的成像和曝光精度。步進器具有強大可靠的特性,非常適合高通量的生產方案。