二手 SCREEN RF3 #293586632 待售

SCREEN RF3光刻設備是一種最先進的顯影設備,用於圖樣傳輸光掩模,用於薄膜微電路的制造。該系統提供優於傳統光刻工藝的性能。RF3光電裝置有一個48英寸直徑的holotablet與一個強大的電子剛化機。這允許抵抗材料相對於掩模圖像的高精度對齊，這對得到的圖樣的分辨率有直接影響。該工具還提供了抗蝕劑厚度和輪廓的自動測量，從而能夠準確控制開發時間。光刻過程包括使用SCREEN RF3的光學表將光掩模與基板對齊。然後紫外線通過遮罩照射到基板上，在基板上被光刻膠吸收和修飾。當光致抗蝕劑暴露後，抗蝕劑和光之間的反應產生化學變化，產生所需的微電路圖樣。一旦曝光，就必須將光刻膠顯影並蝕刻掉，露出微電路圖案。RF3資產還具有一種改進的抗輻照光抗蝕劑。這種新型的光刻膠材料比傳統的光刻膠具有更低的熱膨脹系數和更高的熱穩定性。這樣可以減少顯影和蝕刻過程中的失真,從而獲得更高的分辨率和更高的收率。此外,SCREEN RF3模型能夠測量光刻膠層的厚度和最終的圖樣尺寸,精度高達0.1微米。這種精度水平允許在高密度微電路中實現卓越的性能,在高密度微電路中,制造復雜電路需要時間和精力。總體而言，RF3光刻設備是用於薄膜微電路制造的通用工具。與其他光刻技術相比,它提供了卓越的性能和準確性,並允許以經濟高效的方式生產高密度、高性能的微電路。