二手 SCREEN RF3 #9309659 待售

SCREEN RF3是一種光刻設備，用於在半導體晶片上繪制精確的圖樣。這種光刻膠系統采用液相氨基粘附促進劑和高性能光刻膠材料進行曝光。該單元結合了尖端技術和精確的自動化控制技術，以提高過程的重復性。光致抗蝕劑機器由一種抗蝕劑溶液組成，該溶液被施加到晶片上，從而形成一層薄而均勻的層。該層由多層薄膜組成，這些薄膜由光刻材料、抗反射塗層和粘附促進層組成。粘附促進層是一種液相材料，用於在光致抗蝕劑和底物之間提供強粘附。晶片暴露在紫外線下，光致抗蝕層發生反應，被能量化學攪拌。這種攪拌使抗蝕層中的聚合物分解，使現有的薄膜得以分散，並從將繪制圖樣的區域中除去。在沒有發生暴露的地方，抗蝕劑被保留並保持堅固。使用RF3光刻膠工具為制圖過程提供了更高的整體效率和可重復性。資產中使用的自動化控制可確保過程可重復性在多個晶圓之間統一一致。由於該模型能夠很好地控制沈積模式，它還提供了優越的特征分辨率和高密度的模式。總體而言，SCREEN RF3設備是一種功能強大且可靠的半導體應用光刻系統。此單元采用高質量的材料和先進的自動化技術來提高過程的可重復性,提供統一的陣列,並允許高密度特征分辨率。因此,它可以提高半導體工藝的生產率,降低成本並提高效率。