二手 SCREEN RF3 #9311026 待售

SCREEN RF3是一種光刻設備，能夠實現高精度和超高精度的微光刻工藝。它采用了先進的軟件控制的光學系統，允許對光刻工藝的操縱，以最高的精度創造出極其復雜和微小的圖案。該單位由兩個主要組成部分組成；激光掃描儀和高度精確的六軸級。激光掃描儀允許精確和精確地曝光光刻材料。這臺激光掃描機配備了一個掃描頭，能夠在亞微米到幾百微米的範圍內工作，高速高達1 GHz。六軸級裝有可調裝置，保證晶圓準確穩定的定位。該級還可以以0.001°到0.0015°的增量旋轉晶片，以創建更復雜的結構。RF3工具精確可靠；它具有自動對準和閉環對準伺服,用於反饋控制和連續清潔室操作。這確保了很高的準確性，同時減輕了由於振動或熱噪聲造成的汙染風險。此外,該資產還能夠產生出色的晶圓均勻性和低噪聲配置文件,從而獲得最佳的設備性能和產量。它還有一個額外的原位計量方案，允許在過程中監測和控制光刻膠工藝。SCREEN RF3模型為光刻過程提供了最高的精度和精確度，產生了非凡的產品性能和最小化的產量。該設備現已廣泛應用於半導體和納米技術工藝行業。