二手 SCREEN RF3S #9311025 待售

SCREEN RF3S是一種光刻設備，利用光在基板上形成抗蝕刻層。它的工作原理是將光敏聚合物暴露在紫外線下，在基板表面上形成遮罩。此蒙版可用於減法處理（去除暴露的材料以創建所需的形式）,也可用於添加暴露的材料以創建所需形狀的加法處理。RF3S是一種耐溶劑系統，非常適合高精度蝕刻應用。該裝置的設計目的是制造極其精確和均勻的塗層，以抵抗可能改變基板的熱和化學處理。掩蔽聚合物也極耐自旋，因此在自動自旋塗層應用中可以承受極高的速度。曝光過程從放置在化學桶中的基材開始，在其中應用光敏化學浴。然後將對紫外線敏感的遮罩鋪在基板上，並暴露在紫外線下。暴露的光敏化學物質與基材中的材料發生反應，形成覆蓋表面的遮罩。曝光完成後，面罩被洗掉，基板中沒有暴露在光線下的任何部分保持不變。然後將基材帶到蝕刻室，在那裏使用化學蝕刻劑。根據所使用的蝕刻工藝類型,將蝕刻掉基材的裸露部分,或將未暴露的部分蝕刻掉。可以控制蝕刻過程，產生極精確、高精度的蝕刻。SCREEN RF3S非常適合要求精確度和精確度的應用,因為它提供了耐熱和耐化學處理的均勻、耐旋的塗層和蝕刻。該機還能產生極其精細的蝕刻，可用於多種材料，包括金屬和聚合物。RF3S具有快速、準確的應用,非常適合任何需要精確蝕刻的工作。