二手 SCREEN RF3S #9379824 待售

SCREEN RF3S是由SCREEN Process Company開發的光阻光敏塗層設備。光致抗蝕劑是一種在曝光時改變特性的材料，使其在半導體器件、光子學和印刷電路板的制造中非常有用。RF3S系統是一種高性能解決方案,適用於需要高精度和分辨率的用戶。該單元由三層塗層結構組成，頂部有鋁反射層和光敏光敏層。底層是一種特別配制的封堵材料，旨在保護另外兩層與基板接觸。鋁反射層將遮罩的光照圖樣反射到光致抗蝕層，使其激活，並提供一個清晰、高分辨率的圖樣，轉移到基板上。SCREEN RF3S機具有高精度圖樣，分辨率高，重復性強。適用於線寬在5微米以下的圖樣制作，可提供高達1微米的覆蓋精度。它還能夠承受高激光功率和具有挑戰性的材料，包括那些具有高k電介質的材料。該工具使用相對容易，塗層程序簡單，維護要求低。它最適合使用清潔的基板和穩定的溫度和濕度水平，並且非常適合短壽命和長壽命的光致抗蝕劑。它還與濕處理兼容，可以方便地去除光刻膠並保持底層圖案的完整性。RF3S資產具有成本效益和可靠性,是各種光刻膠應用的理想解決方案。它非常適合復雜、精密的元件的陣列設計,而且具有足夠的靈活性,可用於各種應用。這是一個功能強大的模型,它為用戶提供了光刻過程中的最佳精度、分辨率和可靠性。