二手 SCS 6708D #9161853 待售

SCS 6708D是一種高精度的最先進的光刻設備,可滿足高度多樣化的生產需求。它是一個先進的全自動系統,具有卓越的生產效率,幾乎不間斷的生產。用戶友好單元包括自動化操作軟件，以改進整個過程控制。該機采用直接環形驅動技術（DRT）,具有全旋轉處理能力,最高轉速可達30 rpm。DRT允許在常規系統通常周期時間的一半內快速加載/卸載。光刻工具提供了卓越的均勻性和分辨率。它裝有精密的機械主軸，具有極好的精度和均勻性。主軸裝有可調節的夾環、可調節的環鉗和支撐環臂等部件，以確保部件的高度精確定位。該資產還提供可重新配置的晶片持有者，這些持有者將適應不同尺寸和不同化學性質的底物，從而不需要特殊的適配器。封閉式真空帽可防止溫度、動能和靜力以及可能對敏感的光刻膠層造成傷害的顆粒汙染水平。此外,該模型還配備了自動化測試設備,可以快速識別儀器和材料不一致之處。各種傳感器，如光學、單參考、紅外和氯溴化物，最小化測量時間，簡化過程。這個測試系統通過復雜的數字信號處理進行監控，可以檢測和隔離過程中最微小的差異。為了提高吞吐量和性能,6708D提供自動機器運行狀況監控。這包括可以檢測生產運行之間刀具性能差異的傳感器,並標記檢測到的任何差異。總體而言,SCS 6708D光阻裝置提供了可靠、高效和高度準確的生產方式,具有卓越的塗層均勻性和分辨率,以及有助於簡化工藝的高級自動化功能。對於需要可擴展、高精度光刻機的用戶來說，這是一個理想的選擇。