二手 SCS FA-812-1060-1 #9157134 待售

SCS FA-812-1060-1是一種光刻設備，旨在為半導體晶圓加工提供先進的光刻能力。它是一個可靠且易於使用的系統，可以集成到生產環境中。該單元具有高功率的KrF準分子激光源和自上而下的掃描級,可支持200 mm的晶圓尺寸。激光被分成兩束，然後用一定距離分開，並通過冷凝器透鏡和針孔光圈進行定向，從而在光敏材料中形成所需的圖樣。該光掩模安裝在與掃描級協調的電動掩模級上,以實現靈活、精確的對準。FA-812-1060-1具有自動參數優化功能,可確保根據觀察到的性能根據需要更改過程參數。利用可單獨編程的激光功率和快門速度，優化了晶圓上曝光光刻膠的均勻性。此外，該機采用帶有實時反饋的高端監控工具，提供先進的過程控制和驗證。還包括了激光和晶片加載位置之間的屏蔽、電子互鎖的快門等幾個內置的安全特性。百葉窗門配有互鎖裝置，可防止在門打開時發生任何接觸。還提供了緊急關閉按鈕,以便在緊急情況下快速關閉。SCS FA-812-1060-1是一種高效可靠的光刻材料，它提供高質量的光刻效果和最佳的工藝控制。憑借其先進的特點和自動參數優化，該模型允許以最小的努力生產世界級半導體晶片。通過提供安全的操作、靈活性和可靠的結果,FA-812-1060-1是任何生產環境的完美解決方案。