二手 SEMES EKPS-01 #9259252 待售

SEMES EKPS-01是為廣泛的光刻應用而設計的高科技光刻設備。該系統由多個協同工作的組件組成，可提供優異的性能和精確度。EKPS-01單元包括真空最佳工作臺（VBT）和閉環高度控制機,可確保在處理過程中精確對齊。VBT由線性軸雙運動控制工具驅動，允許x-y-z運動，方便基板對準，提高加工精度。光刻膠分配站提供光刻膠溶液的自動分配，能夠在不同尺寸和幾何形狀的基板上產生薄而均勻的塗層。電子束暴露工作站能夠在大面積上創建具有快速曝光速度和高質量結果的模式。一個直接各向同性蝕刻站用於樣品的化學幹蝕刻加工，為先進的制造需求提供靈活的工藝參數。最後，化學溶劑站清除不需要的殘留物，並準備樣品進行進一步操作。SEMES EKPS-01是高精度光刻的理想選擇，提供最大的工藝精度和效率。