二手 SEMES KPS-60V-A #9261448 待售
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SEMES KPS-60V-A是為通用和高精度電子元件制造而設計的市售光刻設備。它采用標準的兩步光致抗蝕劑工藝來實現精確和機械的成形操作。該工具由包含感光層和基板層的兩部分層壓光刻板組成。感光層最初由一層有機材料薄膜組成,該薄膜可以化學蒸氣沈積在基板層上,在基板層上暴露於特定波長的紫外線。這導致感光分子重新排列自身,形成短暫的聚合物網絡。通過小心翼翼地控制光線的曝光時間和強度,用戶可以從光致抗蝕劑片上創建所需的圖案。第二步是化學發展過程。在此步驟中,片材暴露於顯影劑溶液中,其作用是溶解聚合物網絡,僅留下圖樣化的光致抗蝕劑。剩余的光致抗蝕劑隨後可以傳遞到所需的表面或基板材料上進行進一步處理。除主要組件外,系統還包括註射器、成像放大鏡、無色標記等一系列分配和成像工具。這些工具對於準確放置光致抗蝕劑片並確保正確校準曝光時間和強度至關重要。此外,該裝置還配備了熱控制機,有助於調節環境溫度並維持所需的工藝參數。總體而言,KPS-60V-A工具由於其精確的對齊能力,是創建具有緊密尺寸公差的復雜電子元件的絕佳選擇。此外,它還設計用於可靠和用戶友好的操作,使其成為各行業的絕佳選擇。
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