二手 SEMES KPS-60V #9265100 待售

SEMES KPS-60V光刻設備是一種高性能系統，旨在創建用於多種工業應用的光掩模，包括微電子生產。在高分辨率真空蒸發裝置的基礎上，KPS-60V能夠以均勻和可重復的方式沈積光敏（抗蝕劑）材料，從而產生具有極精細特征的高度精細的光掩模。SEMES KPS-60V機的主要優點之一是能夠將感光材料以極高的精度沈積在矽片、基板和其他材料上。在沈積過程中涉及兩個截然不同的部分：真空熱蒸發單元和光阻處理單元。真空熱蒸發裝置負責光敏材料的均勻沈積，能夠產生極均勻的光敏材料堆積，最小特征尺寸為0.1微米。Photo Resist Processing unit包括一系列附加組件,例如用於檢查光掩模薄膜質量的內置光頭、用於在材料中創建光掩模圖樣的激光寫入器,以及用於精確地將詳細特征應用於光掩模的高效光刻工藝。此外，KPS-60V還能夠微調光掩模加熱蝕刻工藝，達到最佳效果。SEMES KPS-60V資產的主要焦點是它能夠產生非常精確的、細節極其精細的光掩碼。這是通過對光刻膠沈積過程中的真空過程進行高度精確的監測和控制來實現的。利用極快的響應時間來調整參數,KPS-60V能夠在整個光掩模生產過程中保持最高的效率水平。總之，SEMES KPS-60V光刻膠模型是一種高度先進的設備，其設計目的是制造具有高精度特征的極其精確的光掩模。它結合了真空熱蒸發裝置、激光寫入器和光刻工藝，使其成為光掩模生產技術的行業領導者。該系統的高級控制和快速響應時間確保能夠可靠地、快速地創建高精度和詳細的光掩碼。