二手 SEMES Lozix #293777604 待售
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SEMES Lozix是一種光刻膠設備,設計用於處理各種不同的光刻膠和光掩模材料。該系統由一種光敏光敏材料和一種顯影浴組成,可用於蝕刻到抗蝕劑中的圖案。光致抗蝕劑是一種由聚合物和光學染料組成的薄膜,使其對光敏感。當暴露在光線下,染料會發生改變,這會導致可以用來制造圖樣的材料發生光化學變化。Lozix單元用於創建光刻膠中的高精度圖樣。它由一個特別設計的帶有光源和光學濾光片的腔室組成。輻射隨後被送至抗蝕劑材料,該材料既可以是預先塗層的光致抗蝕劑薄膜,也可以是光掩模。光敏膜由有機層、光吸收層、有機粘合劑層組成。當受到光線照射時,膠片會發生一系列光化學反應,導致其表面以特定圖樣蝕刻。這使得以非常高的精度創建模式成為可能。SEMES Lozix機器也能夠在不使用抗蝕劑材料的情況下將圖樣蝕刻到光掩模中。光掩模是透明板的一種,可以用作在金屬或半導體中蝕刻圖樣的模板。Lozix工具使面罩暴露於紫外線輻射下,導致聚合物聚合形成圖樣。這個過程在蒙版上產生高分辨率的圖樣,然後可以轉移到基材上。SEMES Lozix資產非常適合生產光伏電池、半導體芯片和其他先進技術部件。高精度和重復性使其成為許多生產工藝的理想選擇。它也是經濟的,其低環境影響使得它成為許多應用的一個有吸引力的選擇。
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