二手 SEMES Lozix #9236890 待售

SEMES Lozix
製造商
SEMES
模型
Lozix
ID: 9236890
晶圓大小: 12"
Track system, 12".
SEMES Lozix是一種光刻設備,利用光在基板表面創建圖樣。光致抗蝕劑是一種液態材料,可以暴露於光,以便在表面上產生圖案。這種材料通常由聚合物、丙烯酸和染料制成。然後開發出暴露的光致抗蝕劑,以便將圖樣蝕刻到基材上。Lozix系統針對厚度範圍較大的圖案材料進行了優化,如金屬薄膜、玻璃、塑料基板等。其改進的分辨率使其能夠產生特征低至5 μ m(0.005 mm)的圖案。該裝置用於大面積制圖和生產微結構。其靈活性和精確度使其成為適合醫療、電子、航空航天等多個行業的工具。光致抗蝕劑通常通過自旋塗層塗在基板上。這種塗層在暴露於光線之前會覆蓋有阻光接觸套。該套筒用於防止在此過程中受到其他光源的幹擾,並確保光刻膠的均勻曝光。曝光可以通過直接照明或使用鏡頭機投射的重叠圖像來實現。隨後,為了得到一種圖樣化的基材,開發出暴露的光致抗蝕劑。開發過程可以使用正極或負極光致抗蝕劑進行,具體取決於應用。正光致抗蝕劑通過去除未曝光的材料而產生圖樣,而負光致抗蝕劑則通過留下暴露的材料而起作用。最後,圖案化的基材準備在其各自的應用中使用。SEMES Lozix工具允許快速、準確和通用的基板陣列。它還為根據應用程序要求定制模式提供各種曝光和開發選項。它的靈活性和精確度為原型制作和小型生產提供了廣泛的可能性。
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