二手 SEMES Lozix #9270506 待售

SEMES Lozix是一種光致抗蝕劑設備，用於下一代半導體基板上的陣列和成型元件。它由光活化和光刻組件的獨特組合組成，可產生高效和可靠的亞微米線和空間圖樣光刻工藝。該系統采用激光圖樣光活化工藝，具有多級抗蝕劑的開發工藝，以極高的精度形成緊密的特征尺寸。光致抗蝕劑單元由兩步激光外展過程組成，該過程從基材對光輻射源的圖樣曝光開始。這種暴露的強度將決定基質的每個暴露區域將得到的激活程度。一旦達到所需的暴露輪廓，基材就會通過輸送機，根據應用需要，在先前暴露的基材上形成兩個對比抗蝕層之一。一旦完成，基板材料將移至工藝的後溶解階段，在該階段，發達的抗蝕劑被允許凝固，並使用一系列額外的化學蝕刻技術使基板的圖樣達到所需的公差。然後化學蝕刻過程去除殘留的抗蝕劑材料，以揭示底層基材。Lozix光刻工具由於精度高，加工時間快，非常適合批量生產。激光燒蝕和抗蝕開發過程還有助於降低腔室中的汙染水平，有助於延長產品壽命和最大限度地減少缺陷。此外，兩步光刻工藝還有助於確保最終產品的高產量，這要歸功於其精確度和快速的速度。總體而言,SEMES Lozix光刻膠資產可幫助半導體制造商準確快速地生產圖樣,從而降低成本並加快上市時間,使其成為現代微芯片生產的寶貴工具。