二手 SEMICON LHB-3100 #9117937 待售

SEMICON LHB-3100是一種用於光刻工藝的高精度光刻設備，用於先進的IC制造。該系統用於創建抗蝕刻光敏蒙版,用於將圖樣傳輸到基板上以形成IC組件的結構。LHB-3100的關鍵部件是其高分辨率成像單元、抗蝕層塗層機和抗蝕層開發工具。成像資產使用投影透鏡將所需的圖樣詳細投影到基板上。抗蝕性塗層模型然後用一層薄薄的光致抗蝕劑塗覆基板，這層光致抗蝕劑被設計成可以被光線暴露。抗蝕劑開發設備使用專門的顯影劑有選擇地蝕刻抗蝕劑面罩的裸露區域，使未暴露的區域完好無損，形成抗蝕刻的防護面罩。SEMICON LHB-3100的設計是為了滿足先進的IC制造的需要，因為它的高分辨率成像系統可以達到高達0.8 µm的最小特征尺寸。它還提供高達15個線對/毫米的精湛分辨率,提供清晰的圖像分辨率和對生成的圖樣的出色控制。此外,該設備的曝光時間可高達300毫秒,從而消除了曝光後延遲的需要。其耐塗層和開發系統有助於減少微缺陷並確保準確性。LHB-3100還為高級IC制造提供了幾個突出的功能,如基板的自動加載/卸載、優化的叠加配準和自動聚焦診斷。此外，它的過程控制窗口提供了方便的過程跟蹤和監控。總體而言,SEMICON LHB-3100是一款用於IC制造的出色光刻機,具有出色的成像質量,具有清晰的分辨率和準確性、卓越的性能以及可靠的編程。它采用了對下一代IC生產至關重要的高端技術特性,非常適合IC制造商尋求一種強大而精確的光刻工具。