二手 SEMITOOL 2300S #151756 待售

SEMITOOL 2300S
製造商
SEMITOOL
模型
2300S
ID: 151756
晶圓大小: Up to 12"
Spin rinse dryer, up to 12".
SEMITOOL 2300S是一種用於生產微電子器件的光刻設備。用於在微電子基板上塗覆和開發光刻膠。該系統具有高度自動化和用戶友好的特點,具有先進的功能,可提供精確和可重復的電影性能。2300S采用低溫烘烤方法,與細膩的基板具有極好的兼容性,並具有自動膠片軌道配置。它的自動膠片軌道是可調的,以適應各種基材尺寸。一套經過特殊設計的高質量抗蝕泵,可以在每個脈沖的情況下,將抗蝕劑材料精確地應用到基板上。此外,SEMITOOL的壓力室和噴嘴組件2300S具有可調節的高度和角度調整,從而實現精確和可重復的塗層膜厚度。光刻裝置還具有高精度的光學機器和一個短波長的激光,允許精確和可重復的特征分辨率。該工具利用專有的高級算法消除塵埃顆粒的影響,實現精確的聚焦控制。而且,它的板載兩速攪拌電動機允許精確的粘度控制和塗層均勻性。為確保薄膜輪廓的精確和可重復,2300S采用了先進的非接觸式輪廓測量方法來精確測量基板的表面輪廓。此外,其低排氣材料和防升華模型有助於保護敏感基板並確保質量結果。SEMITOOL 2300S光刻膠資產非常適合各種需要精密輪廓、薄膜均勻性、精細特征控制和低放氣材料的應用。該模型的自動化特性為每個基板提供了統一一致的薄膜性能,其先進的光學設備確保了精確和可重復的特征分辨率。此外,其低溫烘烤方法確保了與細膩基板的相容性,使其成為微電子器件生產的理想選擇。
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