二手 SEMITOOL 2300S #9088742 待售
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ID: 9088742
Spin rinser dryer
PSC-101 Controller
208 V, 50/60 Hz, 15 A
Option available: Rotor, 8".
SEMITOOL 2300S是為高精度半導體光刻而設計的光刻加工設備。該系統能夠管理設備幾何尺寸降至0.25 μ m的高質量成像。它具有從基本到先進的各種適應性光敏塗層,速度和精度都不相等。2300S光敏裝置有兩個主要組成部分,一個化學模塊和一個真空工具。化學模塊的設計目的是在暴露前將酸溶液和神經溶液有效地塗覆在所需的光致抗蝕劑中。該模塊能夠管理幾種解決方案,以減少光致抗蝕劑的浪費,同時在整個基板上保持均勻的塗層。同時,該真空工具優化了光化工藝,改善了掩模對準,確保了更高分辨率的成像。這兩個組件的獨特組合為SEMITOOL 2300S在半導體光刻領域提供了強大的邊緣,使設備幾何形狀達到0.25 μ m。它的等離子體增強型原子層沈積技術也能夠實現極高的精度,讓即使是最小的特征也能得到準確的再現。2300S為用戶提供了許多優勢,包括縮短曝光時間、提高分辨率成像和提高產品產量。它還融合了高級晶圓映射、自動對齊、閉環控制等功能。每一個特點都是為了進一步提高光刻機的精度和效率而設計的。所有SEMITOOL 2300S系統還附有全面的用戶手冊,提供有用的指導和有用的相關信息。此外,公司還為其所有產品提供全面的技術支持和客戶服務,從而簡化了安裝和設置過程。總體而言,2300S是一個高度熟練的光刻工具,提供卓越的效果,同時保持高水平的成本效益。它非常適合這種需要復雜細節和高精度的制造工藝。
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