二手 SEMITOOL 240 / 260 / 270 #171344 待售

SEMITOOL 240/260/270光刻膠系統在半導體工業中廣泛使用240/260/270光刻膠系統在半導體工業中用於一系列基材上的光刻膠薄膜的精密沈積、溶解和開發。系統由幾個模塊和組件組成，包括一個濕加工站、一個光刻裝置、一個掩模對準裝置、一個粒子監測器和一個幹燥裝置。濕法加工站負責感光膜的沈積、溶解、開發。它的主要部件是一個腔室、一個中央控制器、一個加工站和一個旋轉載體。該室用於容納過程化學和環境。加工站負責用底物材料攪拌供應，如化學品和溶劑。旋轉載體用於將基板從腔室輸送到加工站進行加工。光致抗蝕劑裝置配有10 X至500 X放大倍率的顯微鏡，用於觀察和檢查過程中的基板。紡紗和烘烤裝置負責將液體或粘性光刻劑紡紗，並烘烤在基板上所形成的圖樣，使其暴露在面膜對準器的光照下。此外，SEMITOOL 240/260/270還設有一個粒子監測器，用於監測環境的清潔度。最後，幹燥裝置負責幹燥和固化基板上的光敏膜。240/260/270是半導體工業光敏處理的突出工具。它為生產高質量的半導體器件提供了可靠和精確的工藝。該系統有多種配置,其模塊化設計允許輕松維護和更換組件,從而節省了時間和金錢。此外，先進的安全功能確保人員和設備的最佳安全。該系統可與任何類型的濕加工站、光刻膠單元、烘烤或烘幹單元配合使用，均極為精確可靠，使得SEMITOOL 240/260/270成為企業尋找光刻膠系統滿足其需求的理想選擇。