二手 SEMITOOL 240 series #85324 待售

SEMITOOL 240系列是專為方便光刻工藝而設計的光刻加工設備。它能夠快速、準確、一致地從設計信息中生成幹凈、堅固的光刻膠圖案。該系統非常適合半導體工業的批量生產和研究實驗室應用。該單元由各種硬件、軟件和其他組件組成,它們可以協同工作以獲得最佳的細節和吞吐量。240系列包括用於編程和配置作業和過程配方的高級配置處理器（ACP）、用於監視每個光刻膠處理周期內的溫度、壓力和批處理狀態的交互式過程控制器（IPC）以及用於監視和驗證光刻膠掩模質量的板載分析機（OAS）。此外,該工具還包括用於管理多個氣源參數的GAS Source Manager, 一個氣體分析儀，用於監測每個步驟的工藝差異， 用於控制和保持塗層溶液的適當粘度的粘度校正器， 一種潔凈室惰性氣體棒，用於噴塗光敏材料， 以及用於定義和控制每個作業的資產參數的專有軟件應用程序。SEMITOOL 240系列專為自動化和靈活性而設計。該模型采用多種氣源配置,可以進行批處理和連續處理。平臺設計為在潔凈室環境中運行，使空氣和顆粒保持在最低限度。該設備還提供現場電腦化維護監測系統，幫助快速診斷和排除設備問題。此外，該機器設計為具有幾層安全和用戶友好的操作特性，允許用戶精確控制光刻膠工藝的每一步。240系列是尋求快速、一致地產生高精度光刻膠圖案的設施的完美工具。憑借其可靠高效的設計，SEMITOOL 240系列為用戶提供了最大精度和可重復性能，以確保最佳的光刻效果。