二手 SEMITOOL 240F #9283685 待售

SEMITOOL 240F
製造商
SEMITOOL
模型
240F
ID: 9283685
Spin dryer.
SEMITOOL 240F是一種用於將薄膜層沈積到半導體晶圓上的光刻設備。其先進的特性使其能夠以高精度和精確度沈積薄膜層。該系統由四個主要組成部分組成:真空室、濺射源、絕緣室和光致抗蝕層。真空室是用來創造一個低壓環境,有助於減少背景和抑制熱氧化。然後,濺射源包含在真空室中,能夠將一層薄膜介質沈積到晶片表面上。隔熱室用於維持底物和反應室氣體之間所需的平衡,並有助於在晶片上形成均勻的塗層。最後,光致抗蝕層有助於保護薄膜層免受環境的侵蝕,並確保其在蝕刻過程中附著在晶片上。240F還包括一些功能,旨在支持精確的過程控制和監控。該單元包含實時視覺反饋,以保持過程一致性。此外,雙載荷臂和優化的工藝管線長度可提高吞吐量時間,這意味著更高的生產率和降低的成本。集成的AutoSave軟件套件還為配方開發和更高的流程控制提供了強大的平臺。總體而言,SEMITOOL 240F是一種先進的光刻機,利用先進的特性,在薄膜層沈積到半導體晶片上時提供精度和準確性。其精密的過程控制功能確保了統一和可靠的結果,並減少了成本和時間支出。240F是需要可靠和高質量地沈積薄膜層的行業的理想解決方案。
還沒有評論