二手 SEMITOOL 240S #85326 待售

SEMITOOL 240S是一種光阻設備,設計用於提供出色的均勻性、鈍化和接觸計量過程。它具有專利技術，以確保一致和可靠的光敏處理。該系統包括一個具有綜合安全功能的濕式工作臺。它采用獨特的晶圓傳輸單元，保持晶圓的平坦性和可重復性。處理器使用先進的噴嘴、樣品支架和浸泡杯設計以及無汙染物環境,以確保精確的防腐塗層。光致抗蝕劑處理器還具有自動抗蝕劑填充機和溫度控制浸入工藝，以確保最佳效果。該工具還包括一個Spincoater與專利雙腔室微調。它有一個專用的噴霧室,用於均勻應用光刻膠.這樣可以精確控制抗蝕劑厚度、旋轉速度和旋轉次數。該資產還具有鈍化室，以保護暴露的晶片免受化學腐蝕或氧化。除了Spincoater之外，240S還包括一個接觸計量模型（CMS），用於測量抵抗模式均勻性和接觸電阻率。該設備采用渦流技術、測量頭和獲得專利的雙範圍電流傳感器的組合，以提供精確、精確的測量。總體而言，SEMITOOL 240S是晶圓加工中精確、高質量結果的理想光刻系統。其先進的特性允許均勻的抗蝕劑覆蓋，精確的接觸計量，以及暴露晶片的可靠鈍化。此外,它還提供完整的自動化和溫度控制過程,以確保結果一致。