二手 SEMITOOL 260 #82966 待售

SEMITOOL 260是來自SEMITOOL, Inc.的光阻設備，是開發集成電路的最先進工具。它是矽和器件結構上的抗蝕層處理平臺，用於混合微電路、半導體器件制造、薄膜沈積/蝕刻/光刻等微電子器件工藝。260是一個多功能平臺，可以配置廣泛的組件和升級，以滿足用戶的特定應用需求。它是圍繞一個封閉的、環境友好的腔室建造的，該腔室與包括Ar、CF4、O2、SF6和N2在內的各種工藝氣體兼容。所有工藝參數都是可編程的，並通過數字控制器進行監控，而腔室環境則是使用先進的PID控制器控制，以保持精確的溫度和壓力水平。SEMITOOL 260還具有先進的抗蝕劑分配系統和薄膜沈積功能。抗蝕劑分配單元允許精確地輸送各種厚度和特定形狀的光致抗蝕劑材料。薄膜沈積機允許以各種厚度和特征尺寸沈積各種薄膜。薄膜沈積室可以配置多種用於聚合物、金屬和電介質的陶瓷靶標，以滿足特定應用的需要。260還包括一系列工藝支持工具，如電動晶片夾具和自動晶片處理工具。晶圓夾具允許在加工過程中對晶圓進行精確操作，並提供晶圓配準的精確調整。自動晶圓處理資產每個周期最多可處理12個晶圓，並具有精確的溫度控制轉運站。SEMITOOL 260在UL上市，符合所有適用的行業和安全標準。它的模塊化結構設計允許簡單的安裝和使用。該設備與PC和PLC兼容,並附帶簡化設置和操作的軟件。該軟件還允許用戶快速高效地測試、分析和優化流程。