二手 SEMITOOL 260 #82968 待售

SEMITOOL 260是為生產半導體器件而設計的光刻設備。該系統配備了高級功能,可提供最高級別的精度和可靠性。該裝置結合了精密的光刻膠分配和塗層、圖樣設計以及對設備制造質量最高的檢驗。260具有最先進的光刻膠應用自動化過程。高分辨率的分配和塗層頭具有尺寸在5到50微米之間的噴嘴，能夠準確有效地應用光刻膠。機器的噴嘴布置確保了材料不平衡的最小化，並在制圖過程中形成了優越的形狀，從而提高了產量。SEMITOOL 260包含用於精確模式傳輸的高分辨率陣列工具。該資產擁有廣泛的模式參數窗口，高速模式和集成的可編程模式布局。其強大的機動化對準和定位功能可實現精確的模式控制和模式放置精度。此外,自動激光掃描儀配置提供了卓越的精度、重復性和可靠性,同時提供了精確的晶圓和模具對準。260的另一個關鍵特點是其質檢模型。這臺設備配備了一整套傳感器，包括高分辨率CCD相機、激光掃描儀和3D拓撲輪廓顯微鏡，以確保設備質量的最高水平。綜合測量軟件具有三維地形圖繪制能力和多傳感器自動校正功能，可實現精確、可重復的過程控制，並具有可追溯的結果。SEMITOOL 260還通過其流程模塊的靈活性和用戶友好的配方設置和控制提供了靈活的處理功能。該系統還為最高效率和吞吐量而設計，具有快速晶片加載、基於晶片需求的加載和高容量腔室加載等特點。整體260是一個可靠高效的單元，能夠提供精確、可重復的光刻膠應用、圖樣和檢測，是最優質設備制造的絕佳選擇。