二手 SEMITOOL 260 #82972 待售

SEMITOOL 260是一款先進的光刻帶設備。這是一個自動化的，一步一步，經濟的系統，從半導體基板去除光刻膠。該單元提供厚（>0.25 μ m）、薄（<0.25 μ m）或多層光刻膠應用的精密清洗和蝕刻，過程平緩而均勻。260機采用創新技術精確控制整個光刻膠清潔循環，包括酸濃度、沖洗水溫、保持時間和帶狀循環持續時間。該工具由四罐閉環循環資產提供動力，具有用戶選擇的清潔和蝕刻速度。它采用了先進的單相蝕刻工藝，能夠出色地去除光刻膠層。SEMITOOL 260操作軟件旨在幫助提高清潔性能並最大限度地減少過程中的錯誤。該軟件具有一系列可定制的工具,使操作員能夠根據特定的基板要求優化清潔周期。它還使用戶能夠自動進行連續清理,並設置定期警報和可編程的啟動/關閉時間。該模型便於操作員精確控制抽頭和反向抽頭循環，以獲得最佳的清潔效果。反向水龍頭循環有助於減少殘留的剝離器，沖洗晶圓表面的水，從而提高清潔質量。該設備還采用了兩個密切監測的酸和清潔循環罐，可串聯使用或獨立使用。為安全起見，260系統設計有先進的安全單元。這臺機器具有多個傳感器和監視器，能夠對過程參數進行連續和連續的監控。該工具還利用一個隔離的清潔室防止意外接觸有害化學品，以及一個獨特的酸控制資產，監測和維持pH值，以獲得一致的清潔結果。除了可靠的性能外，SEMITOOL 260車型還設計了易用性。它帶有簡單、直接的操作控制和直觀的圖形用戶界面（GUI）。用戶界面使設置和調整參數更容易適應單個應用程序。此外，它還具有自潔功能，有助於確保最優質的光刻膠剝離效果。