二手 SEMITOOL 260F #151781 待售

SEMITOOL 260F光刻設備是專門為半導體工業設計的最先進的集成自旋塗層/顯影劑。它具有可旋轉和可伸縮的腔室，可容納最大直徑8英寸的基板。260F帶有內置的旋轉電動機,具有可調的速度和扭矩,可精確控制旋轉塗層過程。該系統利用了對顯影劑的時間、溫度、速度和噴霧壓力的精確控制。溫度控制由精確的微微溫度Control™調節。SEMITOOL 260F的腔室設計包括一個自動升降機單元，允許多種基板進行自旋塗層，大批量快速高效開發。該機設有風冷排氣口，可有效清除所有煙霧。260F光刻工具由內置的直接驅動無刷電動機提供動力,為每個應用程序提供最佳的扭矩和速度。先進的兩級起重裝置增強了旋轉塗層的性能，從而在旋轉塗層過程中對阻抗劑的潤濕、平整和擠壓進行了最佳控制。該模型還具有自動噴霧技術和開發化學品的精確分配功能。對壓力進行精確監控，使其能夠根據需要升高或降低，以適應基板、抗蝕劑和逐層工藝。SEMITOOL 260F配備了高分辨率的16英寸液晶顯示屏和控制器面板，為用戶提供了過程狀態的視覺反饋。設備具有直觀的用戶界面和多種內置便利功能，使用方便、直觀。260F光致抗蝕劑系統是一種最先進的自旋塗層解決方案，並在半導體工業中得到發展。其精密和自動化的旋轉塗層、溫度控制和高度安全的綜合解決方案,使其成為各種光刻工藝的理想選擇。先進的兩級升降機和自動噴霧技術為自旋塗層和開發作業提供了極致的控制和精度。