二手 SEMITOOL 260F #9229806 待售

SEMITOOL 260F是一種全自動幹蝕刻設備，設計用於半導體晶片上的蝕刻面罩/光阻層。該機允許對氧化矽、氮化矽、多晶矽、鋁等各種材料進行高性能蝕刻的多個蝕刻參數進行精確控制和管理。260F配備了自旋蝕刻卡盤，它使用非接觸式低頻濺射來以最高精度蝕刻表面。這種受控的紡紗有助於減少碎片形成的發生，同時也在整個晶片表面保持均勻的蝕刻輪廓。此外，還與機器集成了晶圓監控系統，以確保蝕刻過程的準確性和可重復性。該機采用雙質量氣體輸送裝置，由高壓直接噴射器和低壓噴射器組成。前者用於提供高流量的清潔幹燥蝕刻氣體，而後者則可提供更高濃度的蝕刻氣體，從而實現更高效的蝕刻。雙質量機能夠提供濕蝕、深蝕刻、鈍化、柵極蝕刻等各種蝕刻工藝。此外，SEMITOOL 260F還集成了流程控制和優化工具，如流程監控和自動配方控制。自動配方控制功能允許完全可定制的配方,允許優化蝕刻參數以匹配特定的設備規格。過程監視功能通過監視關鍵蝕刻參數（如溫度、過程時間、壓力和氣體流率）來幫助確保過程的可重復性。總體而言，260F是對半導體應用中的各種材料進行高精度蝕刻的理想光刻蝕刻工具。它提供了一種健壯且可重復的蝕刻工藝，對溫度、壓力、氣體流量、工藝時間等多個蝕刻參數進行精確控制。它的綜合過程監測和優化工具為確保過程的可重復性和質量提供了必要的工具。