二手 SEMITOOL 270 #77035 待售

SEMITOOL 270是用於生產半導體器件的光刻膠系統。它是一個專用系統，利用多個過程模塊提供精確的光刻。它包括一個掩模對準器、一個塗抹器、一個顯影站和一個抵抗剝離站。掩碼對齊器模塊能夠控制掩碼與晶片之間的關系並確保準確的模式配準。它使用光學組件將圖像圖樣投影到光刻塗層的基板上，產生與設計精確對應的圖樣。此外,掩碼對齊器還提供了步進和重復功能,允許在單個基板上放置不同形狀和大小的多個陣列。光刻膠塗抹器用於將光刻膠材料以均勻的層傳遞到基板表面。它具有自動控制均勻薄膜厚度、提高吞吐量和減少光學幹擾的功能。這種塗抹劑還可以用來塗抹幾層光刻膠或宣傳不同薄膜厚度的圖案層。270包括一個開發站，可用於去除未曝光區域的光致抗蝕劑。其高分辨率噴嘴能夠提供精確、定向的化學蝕刻圖樣，從而減少光刻工藝所需的時間。它具有高速處理的數字泵和精確液體輸送的數字壓力控制功能。然後可以將顯影的光刻膠蝕刻到表面，形成所需的圖案。最後，使用抗蝕劑剝離站從基材中去除未曝光的光致抗蝕劑。有效地提供無殘留去除負音光刻膠的重復效果。電子光束監測晶片清洗站確保有效地從表面除去所有的光致抗蝕劑。SEMITOOL 270提供了一個完整的光刻系統，以方便半導體器件的制造。其功能旨在為這些組件的生產提供精確和自動化的光刻技術。它的靈活性和便利性允許對各種基材進行高效加工。